可提高半导体芯片良率的超纯水制备技术

coverPicture
供应名称 可提高半导体芯片良率的超纯水制备技术
供应单位 瑞典Xzero公司
合作方式 双方协商
阶段 通过中试
期望金额 面议
所在地区
专利号 登记证号
供应分类 技术
所属行业精密和智能仪器仪表与试验设备监测设备环境控制设备水处理设备
自定义标签
备注要求
浏览次数 :94
供应详情

    瑞典Xzero公司于1997年从瑞典环境技术开发商Scarab公司旗下独立出来,致力于为微电子行业开发超纯水处理和生产系统。该公司花费20年时间研发用于微电子和纳米电子工业的工艺用水新技术技术团队于1999年在美国桑迪亚国家实验室与Intel合作,2023年与比时微电子研究中心(IMEC)合作;公司也在探索医药卫生、海水淡化领域的潜在应用,与斯德哥尔摩环境研究所和皇家理工学院开展城市废水的药物残留去除研究,与卡塔尔开展海水淡化研究等。

   据公司介绍,其开发了利用膜蒸馏技术制备用于芯片生产的高洁净度纯水。资料显示,该技术可去除芯片生产过程中冲洗水中的污染物,包括亚29纳米颗粒和颗粒前体,减少芯片缺陷,提升制造良率。与现有技术相比,本项目的技术环节较为简化,可避免在多次级联的纯化过程中引入新的污染。同时,该技术可利用设备废热,进一步提高能效。

   该项目已授权多项发明专利并处于实验室成果阶段,外方希望通过技术入股、专利转让、合作生产、投资、代理等方式共同开展合作。

联系方式
联系人登录状态且技术经理人可看联系邮箱登录状态且技术经理人可看
联系方式登录状态且技术经理人可看