技术参数：最大加载力≥500mN，载荷最小分辨率≤30nN，最大压痕深度≥500μm，位移分辨率≤0.01nm，定位精度≤1μm，定位分辨率≤0.1nm。 主要功能：能够测量光滑平整的块体和薄膜材料在样品厚度方向连续深度范围内的纳米压痕硬度和弹性模量及进行划痕实验