氩离子束抛光系统使用三离子束，并可装选配冷冻样品台和三样品台，可以高速率离子束轰击样品，得到宽且深的区域，获得一个高质量的平整的切割截面。适用于切割硬的，软的，多孔的，热敏感的，脆的和轻合金及非均质多相复合型材料，获得高质量切割截面，以适宜于扫描电子显微镜微区分析和原子力显微镜分析