脉冲激光沉积真空系统
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服务价格:面议服务分类:
服务单位:北京科技大学联系电话: 010-62334575
服务地址:全国
服务行业:材料科学与工程
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服务详情

主要规格&技术指标

制备室极限真空优于5.0x10-8Pa;多靶沉积 4个2”;衬底加热温度 1000度;进样室极限真空1.0x10-5Pa;沉积均匀性<5%